|
海洋光学--微型光纤光谱仪的发明者
|
|
薄膜参考板
|
当我们测量很薄的硅晶圆或光学板层时可以使用我们的硅-二氧化硅参考晶圆。 硅-二氧化硅阶梯形晶圆的表面直径是100mm，有5种不同厚度的校正镀层分布在上面从0-500nm，用于测量膜厚和不同基底的透射层是理想的参比标准。
|
步进板由很薄的二氧化硅片镀在硅片上所构成。校正数据—硅板经过椭偏仪校正—包含每一个镀层的信息如X点，Y点ψ, δ, 周期 (in mm) 及膜厚(in mm)。
海洋光学 - 微型光纤光谱仪
|
|
Contact an Ocean Optics Applications Scientist
Variable-angle
Reflection Sampling System
Reflection
Stage
Reflection and
Transmission Stage
|
